半导体热电制冷器
半导体热电制冷器又叫做：半导体式冷水机、半导体温控台、细密半导体冷却器，，，，该系统由半导体制冷系统、循环水冷系统、温度控制系统及丈量治具载台等装置组成。。。。。。。普遍应用于半导体行业蚀刻装置，，，，CMP实验室细密装置、高精度测试仪器等等
半导体热电制冷器又叫做：半导体式冷水机、半导体温控台、细密半导体冷却器，，，，该系统由半导体制冷系统、循环水冷系统、温度控制系统及丈量治具载台等装置组成。。。。。。。普遍应用于半导体行业蚀刻装置，，，，CMP实验室细密装置、高精度测试仪器等等
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ADVANTAGE
主要用于半导体制程中对多路反应腔室的精准控温，，，，装置由热交流器、循环泵、压缩机和控制系统组成，，，，接纳先进的控制算法，，，，提高了chiller的稳固性、控温精度和反应速率。。。。。。。
在带负载的情形下控温精度可达±0.5℃，，，，可在-20℃~85℃之间恣意控温，，，，有优异的温度稳固性。。。。。。。
主要由加热循环系统、冷却系统、控制系统、箱体等组成。。。。。。。加热循环系统包括循环泵、电加热器、膨胀容器、排气阀、单向阀、热电阻、循环管道等组成。。。。。。。冷却系统包括油水换热器、油油换热器（部分装备）、冷却水电磁阀、高温电磁阀等组成。。。。。。�？？？刂葡低辰幽蒔ID控制手艺，，，，高清触摸屏显示，，，，设有多项保唬�；；；；すπВ�，，，确保装备清静运行。。。。。。。通过机组自身的加热与冷却，，，，向外界运送载热流体，，，，知足工艺条件要求。。。。。。。
给芯片 、�？？？� 、集成电路板、电子元器件等提供准确且快速的情形温度。。。。。。。替换液氮为局部热源提供快速降温。。。。。。。产品电性能 、 可靠性 、老化等测试提供冷源
主要由制冷系统、循环系统、控制系统、箱体等组成。。。。。。。制冷系统接纳蒸汽压缩式制冷，，，，压缩机及主要制冷部件均接纳国际着名品牌。。。。。。。循环系统包括循环泵、蓄冷容器、排气阀、单向阀、热电阻、管道等组成。。。。。。�？？？刂葡低辰幽蒔ID控制手艺，，，，高清触摸屏显示，，，，设有多项保唬�；；；；すπВ�，，，确保装备清静运行。。。。。。。通过机组自身的制冷与加热，，，，向外界运送载热流体，，，，知足工艺条件要求。。。。。。。
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对运输时间我们不做允许，，，，遇到节日、雨雪、大雾等，，，，物流运输偶有延迟，，，，在厂家能力控制规模之外，，，，敬请明确。。。。。。。
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