液冷制冷机

应用于晶圆测试载物台、chuck的加热及制冷，，，，，，接纳硅油或氟化液循环精准控温±0.1℃，，，，，，液冷机主要由加热循环系统、冷却系统、控制系统、箱体等组成。。。。。通过机组自身的加热与冷却，，，，，，向外界运送载热流体，，，，，，知足工艺条件。。。。。

装备控温规模：-80℃~200℃
Chuck盘面控制温度：-60℃
温度稳固性：±0.1℃
制冷系统：接纳双极压缩制冷系统
定制：可按要求定制-60℃液冷制冷机

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PROTECO

参数看清晰

型号

装备名称
制冷方法
操作面板
载冷剂
全密闭系统
介质温度规模
温度精度
温度反响
控温工具
显示区分率
通讯协议
外部输入
存储功效
冷凝方法
清静防护

液冷制冷机

PTHC系列低温液冷机
双级复叠制冷
7英寸彩色触摸屏，，，，，，中文显示，，，，，，操作轻盈、显示直观，，，，，，可显示、纪录温度曲线和测试数据
氟化液或硅油
管道材质：SUS304，，，，，，接纳全密闭式结构设计
-80℃ ~ 200℃
出口温度±0.1 ℃
装备导热介质温度反响PT100 (回口温度、出口温度) ，，，，，，控晶圆测试chuck盘温度
装备导热介质出口温度 (可选择控制物料温度)
0.01K
MODBUS RTU协议、RS 485接口+以太网接口
外置测温传感器端口、USB数据接口
试验执行时，，，，，，可实时显示图形曲线，，，，，，显示内容；；；；；；温度设定现实值，，，，，，执行程序周期，，，，，，程序执行中具有跳文件，，，，，，坚持功效。。。。。
风冷
装备运行状态实时显示，，，，，，故障信息自动诊断，，，，，，多项报警�；；；；；；�

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制冷加热的装备也就是化工行业常说的TCU系统。。。。。这个主要是接纳了现有的能源（蒸汽、循坏水、冷冻水），，，，，，把初级能源整合运用到一起举行对工艺装备的准确控温的单流系统或者二级回路上去。。。。。冷热一体控温机介质一直导热介质流到反应釜夹套去，，，，，，而不是通过蒸汽、冷却水、超低温介质直接对反应釜举行温度控制，，，，，，制冷加热的装备是通过大数据运算整体反应所需要的温度的历程来自动调理。。。。。