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温湿度控制系统

对应用于半导体生产等的曝光装备、涂布/显影装备中,,,, ,,,,制程腔体内的情形空气温湿度举行细密控制,,,, ,,,,以包管制品良率。。。 。。。。

应用领域:晶圆制造、液晶面板、封装测试、细密丈量、学术研究等。。。 。。。。

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参数看清晰

装备名称

  • 设定温度规模
  • 设定湿度规模
  • 处置惩罚风量能力
  • 温度稳固性
  • 湿度稳固性

温湿度控制系统

  • 20~27°C
  • 40~50%
  • 50~150m3/min
  • ±0.1℃C
  • ±0.3%

产品推荐

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直冷型制冷机
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沙龙会sa36效劳

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天下免费送货上门:西北、东北、西南各省到货时间为5-7天不等,,,, ,,,,个体地方由于不确定因素到货时间为7天以上,,,, ,,,,其它各省份到货时间为3-5天,,,, ,,,,江浙沪到货时间为1-2天.

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对运输时间我们不做允许,,,, ,,,,遇到节日、雨雪、大雾等,,,, ,,,,物流运输偶有延迟,,,, ,,,,在厂家能力控制规模之外,,,, ,,,,敬请明确。。。 。。。。

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