温湿度调理装置

对应用于半导体生产等的曝光装备、涂布/显影装备中，，，，，，制程腔体内的情形温湿度举行细密控制，，，，，，以包管制品良率。。。。各循环系统均可以有多路自力控温输出管路。。。。

应用领域：晶圆制造、液晶面板、封装测试、细密丈量、学术研究等

连忙咨询

沙龙会sa36(国际)官方网站

OUR
ADVANTAGE

products

PROTECO

参数看清晰

装备名称

冷却方法
控制方法
情形温湿度
温度控制规模
温度控制精度
湿度控制规模
湿度控制精度
最大处置惩罚风量
出风口数目
温度控制规模
温度控制精度

温湿度调理装置

水冷式
PID
C 40-50%RH
22-24°C
±0.1℃
40-50%RH
±0.5%RH
100m*/min
12
22-24°C
±0.1℃

产品推荐

在温度控制方面，，，，，，其精度可达 ±0.1℃。。。。无论是高温情形下的稳固维持，，，，，，照旧低温状态的精准把控，，，，，，都能轻松应对。。。。

气体温湿度调理装置(ACU)

审查更多

恒温恒湿机在基板曝光前，，，，，，能有用维持其外貌温度的均一性。。。。经由此装备处置惩罚后的空气，，，，，，温度控制精度可达目的值士0.01°℃，，，，，，充分知足制程情形对温控的极致要求。。。。该装备的应用，，，，，，不但确保了产线情形的稳固，，，，，，更为产品的高良率提供了坚实包管。。。。在细密制造领域，，，，，，恒温恒湿机的这一卓越性能，，，，，，无疑为生产流程的顺畅与品质的提升孝顺了不可或缺的实力。。。。

TCU Series 细密恒温恒湿机

审查更多

主要用于半导体制程中对多路反应腔室的精准控温，，，，，，装置由热交流器、循环泵、压缩机和控制系统组成，，，，，，接纳先进的控制算法，，，，，，提高了chiller的稳固性、控温精度和反应速率。。。。在带负载的情形下控温精度可达±0.5℃，，，，，，可在-20℃~85℃之间恣意控温，，，，，，有优异的温度稳固性。。。。