细密冷水机
TLS细密冷水机：使用温度规模：5~85℃，，，，，配有加热器，，，，，属于制冷加热一体机。。。。。。。型号按加热功率命名，，，，，加热功率在1.5~25kW之间。。。。。。。细密冷水机可以知足准确控温的需求，，，，，也可以凭证客户要求选配流量计和压力传感器。。。。。。。本产品适用于半导体制造装置、剖析检测装置等发热部分的冷却及温度的控制。。。。。。。
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TLS细密冷水机：使用温度规模：5~85℃，，，，，配有加热器，，，，，属于制冷加热一体机。。。。。。。型号按加热功率命名，，，，，加热功率在1.5~25kW之间。。。。。。。细密冷水机可以知足准确控温的需求，，，，，也可以凭证客户要求选配流量计和压力传感器。。。。。。。本产品适用于半导体制造装置、剖析检测装置等发热部分的冷却及温度的控制。。。。。。。
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Chiller高精度换热温控单位PHE系列产品，，，，，可实现对装备出口温度的精准控制，，，，，控温精度在±0.1℃以内。。。。。。。产品主要应用于半导体制程中CVD/PVD、Etch和IMP准确控温领域，，，，，激光、高端医疗和细密实验室温控计划。。。。。。。主要部件均接纳国际着名品牌，，，，，产品稳固性高。。。。。。。循环系统包括循环泵、电加热管、板式换热器、水箱、排气阀、单向阀、热电阻、管道等组成。。。。。。�？？？？？？？刂葡低辰幽蒔ID控制手艺，，，，，高清触摸屏显示，，，，，设有多项保唬�；；；；すπ�，，，，，确保装备清静运行。。。。。。。通过机组自身的制冷与加热，，，，，向外界运送载热流体，，，，，知足工艺条件要求。。。。。。。
Chiller高精度冷热循环器PTS系列产品，，，，，可实现对装备出口温度的精准控制，，，，，控温精度在±0.1℃以内。。。。。。。产品主要应用于半导体制程中CVD/PVD、Etch和IMP准确控温领域，，，，，激光、高端医疗和细密实验室温控计划。。。。。。。全系列接纳全直流变频压缩机，，，，，磁力耦合泵，，，，，电子膨胀阀节约装置，，，，，西门子控制器，，，，，压缩机及主要制冷部件均接纳国际着名品牌，，，，，产品稳固性高。。。。。。。循环系统包括循环泵、电加热管、膨胀容器、排气阀、单向阀、热电阻、管道等组成。。。。。。�？？？？？？？刂葡低辰幽蒔ID控制手艺，，，，，高清触摸屏显示，，，，，设有多项保唬�；；；；すπ�，，，，，确保装备清静运行。。。。。。。通过机组自身的制冷与加热，，，，，向外界运送载热流体，，，，，知足工艺条件要求。。。。。。。
PTZL系列直冷型制冷机适用于真空涂覆冷阱、半导体芯片测试、热沉试验、低温液浴，，，，，气体捕集、药品冻干等多种用途。。。。。。。装备内不含蒸发器，，，，，通过外部毗连受路，，，，，将低温低压液体制冷剂运送到客户负载（蒸发器）内。。。。。。。制冷剂在蒸发器内蒸发吸热，，，，，快速带走负载热量后抵达目的低温。。。。。。。直冷型制冷机接纳制冷剂直接蒸发，，，，，降温方法为相变制冷，，，，，与液冷的温差降温相比，，，，，降温速率快，，，，，能效高，，，，，装备无循环系统后，，，，，形状尺寸更紧凑。。。。。。。
给芯片 、�？？？？？？？� 、集成电路板、电子元器件等提供准确且快速的情形温度。。。。。。。替换液氮为局部热源提供快速降温。。。。。。。产品电性能 、 可靠性 、老化等测试提供冷源
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