通过机组自身的高效换热系统,,,,,,,将进入装置内的干燥气体(如氮气,,,,,,,氩气或空气)从情形温度冷却到低温恒温状态,,,,,,, 装备出来的气体即可抵达目的低温温度。。。。。。。
PTZL系列直冷型制冷机适用于真空涂覆冷阱、半导体芯片测试、热沉试验、低温液浴,,,,,,,气体捕集、药品冻干等多种用途。。。。。。。
Chiller高精度冷热循环器,控温精度在±0.1℃以内。。。。。。。产品主要应用于半导体制程中CVD/PVD、Etch和IMP准确控温领域,,,,,,,激光、高端医疗和细密实验室温控计划。。。。。。。
Chiller高精度换热温控单位PHE系列产品,控温精度在±0.1℃以内。。。。。。。产品主要应用于半导体制程中CVD/PVD、Etch和IMP准确控温领域,,,,,,,激光、高端医疗和细密实验室温控计划。。。。。。。
TLS细密冷水机:使用温度规模:5~85℃,,,,,,,配有加热器,,,,,,,属于制冷加热一体机。。。。。。。本产品适用于半导体制造装置、剖析检测装置等发热部分的冷却及温度的控制。。。。。。。
SMART系列产品是专门为实验室应用开发的一款小型崎岖温动态控温系统。。。。。。。适用于对玻璃反应釜、金属反应釜、生物反应器等举行升降温、恒温控制,,,,,,,质料测试。。。。。。。