Chiller高精度换热温控单位PHE系列产品 ，，，，，，，可实现对装备出口温度的精准控制 ，，，，，，，控温精度在±0.1℃以内。。。。 。产品主要应用于半导体制程中CVD/PVD、Etch和IMP准确控温领域 ，，，，，，，激光、高端医疗和细密实验室温控计划。。。。 。主要部件均接纳国际着名品牌 ，，，，，，，产品稳固性高。。。。 。循环系统包括循环泵、电加热管、板式换热器、水箱、排气阀、单向阀、热电阻、管道等组成。。。。 �？？？？？ ？刂葡低辰幽蒔ID控制手艺 ，，，，，，，高清触摸屏显示 ，，，，，，，设有多项�；；；すπ� ，，，，，，，确保装备清静运行。。。。 。通过机组自身的制冷与加热 ，，，，，，，向外界运送载热流体 ，，，，，，，知足工艺条件要求。。。。 。
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Chiller高精度换热温控单位PHE系列产品 ，，，，，，，可实现对装备出口温度的精准控制 ，，，，，，，控温精度在±0.1℃以内。。。。 。产品主要应用于半导体制程中CVD/PVD、Etch和IMP准确控温领域 ，，，，，，，激光、高端医疗和细密实验室温控计划。。。。 。主要部件均接纳国际着名品牌 ，，，，，，，产品稳固性高。。。。 。循环系统包括循环泵、电加热管、板式换热器、水箱、排气阀、单向阀、热电阻、管道等组成。。。。 �？？？？？ ？刂葡低辰幽蒔ID控制手艺 ，，，，，，，高清触摸屏显示 ，，，，，，，设有多项�；；；すπ� ，，，，，，，确保装备清静运行。。。。 。通过机组自身的制冷与加热 ，，，，，，，向外界运送载热流体 ，，，，，，，知足工艺条件要求。。。。 。
Chiller高精度冷热循环器PTS系列产品 ，，，，，，，可实现对装备出口温度的精准控制 ，，，，，，，控温精度在±0.1℃以内。。。。 。产品主要应用于半导体制程中CVD/PVD、Etch和IMP准确控温领域 ，，，，，，，激光、高端医疗和细密实验室温控计划。。。。 。全系列接纳全直流变频压缩机 ，，，，，，，磁力耦合泵 ，，，，，，，电子膨胀阀节约装置 ，，，，，，，西门子控制器 ，，，，，，，压缩机及主要制冷部件均接纳国际着名品牌 ，，，，，，，产品稳固性高。。。。 。循环系统包括循环泵、电加热管、膨胀容器、排气阀、单向阀、热电阻、管道等组成。。。。 �？？？？？ ？刂葡低辰幽蒔ID控制手艺 ，，，，，，，高清触摸屏显示 ，，，，，，，设有多项�；；；すπ� ，，，，，，，确保装备清静运行。。。。 。通过机组自身的制冷与加热 ，，，，，，，向外界运送载热流体 ，，，，，，，知足工艺条件要求。。。。 。
PTZL系列直冷型制冷机适用于真空涂覆冷阱、半导体芯片测试、热沉试验、低温液浴 ，，，，，，，气体捕集、药品冻干等多种用途。。。。 。装备内不含蒸发器 ，，，，，，，通过外部毗连受路 ，，，，，，，将低温低压液体制冷剂运送到客户负载（蒸发器）内。。。。 。制冷剂在蒸发器内蒸发吸热 ，，，，，，，快速带走负载热量后抵达目的低温。。。。 。直冷型制冷机接纳制冷剂直接蒸发 ，，，，，，，降温方法为相变制冷 ，，，，，，，与液冷的温差降温相比 ，，，，，，，降温速率快 ，，，，，，，能效高 ，，，，，，，装备无循环系统后 ，，，，，，，形状尺寸更紧凑。。。。 。
给芯片 、�？？？？？ ？� 、集成电路板、电子元器件等提供准确且快速的情形温度。。。。 。替换液氮为局部热源提供快速降温。。。。 。产品电性能 、 可靠性 、老化等测试提供冷源
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