恒温恒湿机在基板曝光前，，，，， ，能有用维持其外貌温度的均一性。。。。。。。。经由此装备处置惩罚后的空气，，，，， ，温度控制精度可达目的值士0.01°℃，，，，， ，充分知足制程情形对温控的极致要求。。。。。。。。该装备的应用，，，，， ，不但确保了产线情形的稳固，，，，， ，更为产品的高良率提供了坚实包管。。。。。。。。在细密制造领域，，，，， ，恒温恒湿机的这一卓越性能，，，，， ，无疑为生产流程的顺畅与品质的提升孝顺了不可或缺的实力。。。。。。。。
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ADVANTAGE
-135℃~+225℃,可以知足差别温度的需求，，，，， ，可非标定制 ；；；；；
可选配准确控温形式，，，，， ，控温精度最高可达±0.1℃;
接纳高效换热器，，，，， ，降温速率快，，，，， ，常温至-80℃最快只需5分钟 ；；；；；
可选配冷量接纳装置，，，，， ，提升能效，，，，， ，阻止低温冷凝水。。。。。。。。
可选配进气流量自动控制与检测
主要用于半导体制程中对多路反应腔室的精准控温，，，，， ，装置由热交流器、循环泵、压缩机和控制系统组成，，，，， ，接纳先进的控制算法，，，，， ，提高了chiller的稳固性、控温精度和反应速率。。。。。。。。
在带负载的情形下控温精度可达±0.5℃，，，，， ，可在-20℃~85℃之间恣意控温，，，，， ，有优异的温度稳固性。。。。。。。。
应用于元器件的特征剖析、崎岖温温变测试、温度攻击测试、失效剖析等可靠性试验，，，，， ，此类装备解决古板崎岖温箱无法知足的局部测试要求,装备移动利便、适合对众多元器件的某个单个元器件或具有平展外貌且结构扁平器件的崎岖温测试。。。。。。。。
接纳现有的热能(如蒸汽、冷却水及超低温液体等)集成到用来控制工艺装备温度的单流系一切或二级回路中，，，，， ，组成单热传导液体在反应容器夹套中的非接触式温度控制系统
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