半导体专用多通道温控装备

主要用于半导体制程中对多路反应腔室的精准控温，，，，装置由热交流器、循环泵、压缩机和控制系统组成，，，，接纳先进的控制算法，，，，提高了chiller的稳固性、控温精度和反应速率。。。。。。。在带负载的情形下控温精度可达±0.5℃，，，，可在-20℃~85℃之间恣意控温，，，，有优异的温度稳固性。。。。。。。

产品分为：
1、单通道系列
2、双通道系列
3、三通道系统

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参数看清晰

名称

单通道系列
温度规模
精度
冷却能力
加热能力
流量
端口巨细
温度规模
所需流量
端口巨细
入口压力
双通道系列
温度规模
精度
冷却能力
加热能力
流量
端口巨细
温度规模
所需流量
端口巨细
入口压力
三通道系列
温度规模
精度
冷却能力
加热能力
流量
端口巨细
温度规模
所需流量
端口巨细
入口压力

参数

-20℃~+80℃
±0.1℃
2kw@-10℃
3kw
20LPM@0.6MPa
Rc3/4"
15~20°C
15LPM
Rc1/2"
0.3~0.7MPa
-45℃~+40℃
±0.2℃
11kw@-20℃/5kw@-40℃
2kw
17LPM@0.6MPa
Rc3/4"
15~20°C
30LPM
Rc1/2"
0.3~0.7MPa
-20℃~+50℃
±0.1℃
15kw@-10℃
2kw
30LPM@0.85MPa
Rc3/4"
15~20°C
30LPM
Rc3/4"*2
0.3~0.7MPa

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