大功率芯片温控
从芯片研发的动态测试，，，，，，到前道制造的蚀刻、CVD、离子注入，，，，，，我们提供贯串半导体全工业链的温控解决计划。。。 。。。
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SMART系列产品是专门为实验室应用开发的一款小型崎岖温动态控温系统。。。 。。。功效与PTHC系列相同，，，，，，可实现物料温度控制、夹套温度控制。。。 。。。制冷系统接纳蒸汽压缩式制冷，，，，，，压缩机及主要制冷部件均接纳国际着名品牌。。。 。。。循环系统包括循环泵、电加热管、膨胀容器、排气阀、单向阀、热电阻、管道等组成。。。 。。�？？？？刂葡低辰幽蒔ID控制手艺，，，，，，高清触摸屏显示，，，，，，设有多项�；；；；すπВ�，，，，，确保装备清静运行。。。 。。。通过机组自身的制冷与加热，，，，，，向外界运送载热流体，，，，，，知足工艺条件要求。。。 。。。适用于需要快速加热和降温的外部应用，，，，，，对玻璃反应釜、金属反应釜、生物反应器等举行升降温、恒温控制，，，，，，质料测试，，，，，，尤其适合在反应历程中有吸热、放热历程控制。。。 。。。
Chiller高精度换热温控单位PHE系列产品，，，，，，可实现对装备出口温度的精准控制，，，，，，控温精度在±0.1℃以内。。。 。。。产品主要应用于半导体制程中CVD/PVD、Etch和IMP准确控温领域，，，，，，激光、高端医疗和细密实验室温控计划。。。 。。。主要部件均接纳国际着名品牌，，，，，，产品稳固性高。。。 。。。循环系统包括循环泵、电加热管、板式换热器、水箱、排气阀、单向阀、热电阻、管道等组成。。。 。。�？？？？刂葡低辰幽蒔ID控制手艺，，，，，，高清触摸屏显示，，，，，，设有多项�；；；；すπВ�，，，，，确保装备清静运行。。。 。。。通过机组自身的制冷与加热，，，，，，向外界运送载热流体，，，，，，知足工艺条件要求。。。 。。。
Chiller高精度冷热循环器PTS系列产品，，，，，，可实现对装备出口温度的精准控制，，，，，，控温精度在±0.1℃以内。。。 。。。产品主要应用于半导体制程中CVD/PVD、Etch和IMP准确控温领域，，，，，，激光、高端医疗和细密实验室温控计划。。。 。。。全系列接纳全直流变频压缩机，，，，，，磁力耦合泵，，，，，，电子膨胀阀节约装置，，，，，，西门子控制器，，，，，，压缩机及主要制冷部件均接纳国际着名品牌，，，，，，产品稳固性高。。。 。。。循环系统包括循环泵、电加热管、膨胀容器、排气阀、单向阀、热电阻、管道等组成。。。 。。�？？？？刂葡低辰幽蒔ID控制手艺，，，，，，高清触摸屏显示，，，，，，设有多项�；；；；すπВ�，，，，，确保装备清静运行。。。 。。。通过机组自身的制冷与加热，，，，，，向外界运送载热流体，，，，，，知足工艺条件要求。。。 。。。
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